197 SENSOR GAS BERBASIS FILM TIPIS DENGAN KONFIGURASI TRANSISTOR EFEK MEDAN (FET) UNTUK DETEKSI GAS CO Sujarwata, Putut Marwoto Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Semarang Email: sjarwot.@yahoo.co.id Abstrak. Pembuatan dan karakterisasi Transistor Efek Medan (FET) berbasis flm tipis dengan struktur bottom-contact dan panjang channel 100 μm untuk aplikasi sensor gas. Pembuatan FET dengan cara: permulaan dilakukan pencucian substrat Si/SiO 2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan pendeposisian elektroda source/ drain dengan metode penguapan hampa udara dan teknik lithography. Selanjutnya dilakukan deposisi flm tipis CuPc diantara source/drain sebagai panjang channel dan elektrode gate. Karakteristik FET, untuk daerah aktif untuk V DS (2,80 s/d 3,42) V dan kuat arus I DS (0,00095 s/d 0,00169) A. FET akan aktif beroperasi hanya diperlukan tegangan V DS (2,79 V s/d 3,43 V) dan dengan ukuran sangat kecil ( 1,5 mm x 3,1 mm ) serta jarak antara S ke D adalah 100 μm. Aplikasi sensor gas telah dilakukan untuk mendeteksi gas CO, diperoleh hasil untuk response time 90 detik dan recovery time 120 detik. Kata kunci : deposisi, flm tipis, channel, sensor gas, FET PENDAHULUAN Gas CO dapat bereaksi dengan hemoglobin darah akan membentuk senyawa karboksi hemoglobin (Hb-CO) yang tidak bisa mengangkut oksigen dalam sirkulasi darah. Kemampuan gas CO dalam mengikat Hb, ternyata 210 kali lebih kuat, apabila dibandingkan dengan ikatan antara O 2 dengan hemoglobin (Hb), sehingga mengakibatkan O 2 akan kalah bersaing. Seseorang yang telah teracuni dengan gas CO akan mengalami gejala gangguan kesehatan, antara lain: adanya gejala sakit kepala, gangguan pada mental (mental dullness), pusing, tubuhnya sangat lemah, mual, muntah, kehilangan kontrol pada otot, diikuti dengan adanya penurunan denyut nadi dan frekuensi pernapasan, pingsan, dan bahkan dapat meninggal. Kasus pingsan atau bahkan bisa meninggal akan terjadi apa bila kadar Hb-CO dalam darah mencapai 60% dari total Hb darah (www.depkes.go.id). Terkait dengan adanya fenomena tersebut, diperlukan penelitian untuk menghasilkan produk teknologi yang dapat digunakan mendeteksi gas beracun secara dini. Sensor kimia untuk berbagai macam gas sangat pesat pengembangannya dalam dekade Sujarwata, Putut Marwoto