1349 چکید- وؼطاف ایىکزيآیت ساخت مییه ج ريشی ویه مقال درا مبتىیمزیز پلی پذی شدتیک ارائستاگزالکتزيا بز ػملستفاد است. ایىکزيآییک در ساخت میاتگزالکتزياست اس ػمل در ساخت،گشیى ي سادگییل دقت باا بدل بی می ی مطل يما ویاس بشد.ا بااص تحزیک لتيد میلگز را محدع ػم اسایه وستفاد ا باتیک بسیارس مديل امزی بااد پلی اس مستفاد ااکارکی اس را رفغ ایه مشکل، ی کىد. بزاییه مقالن دارد. درا با سیلیک در مقایس سطح کمتزیمز، صافی اس پلیستفاد ا با شد ساختیىما آین است. ا سیلیکه بجایی پای بزایای و وظز صافی سطح با وممزی اس پلی آیىای مشایام بز تمي ػ ک شدستفاد اکزيایى ساخت میری بزایکا بزایه مشکل اس را غلب می کىد. بزابزیوی سیلیکاط كليذ- يک تطثيقی ، پليوش اپتSU-8 . آیياتيکی ، هيکشػتگش الکتش ، ػولFabrication of deformable polymer micro mirror with electrostatic actuation Mehrnaz Esfandiari 1 , Reza Asadi 2 , Payam Heydari 3 , Alireza Shamsi 4 1,2 Maleke Ashtar university of Technology, Lavizan, Tehran. 3,4 Islamik Azad university, Rodehen branch, Rodehen, Tehran Abstract- In this paper,a novel method for fabrication of a polymeric deformable micro-mirror with electrostatic actuator is presented.Electrostatic actuators are a desirable choice for micro-mirrors due to their accurate deformation control and simple fabrication process.Despite these promising the development of the electrostatic actuator is limited because of for high actuation voltage.To solve this problem,we utilize metalized thin SU-8 diaphragm as deformable mirror.but the Surface roughness of polymeric mirror is lower than silicon ones.in this paper we propose the fabrication method to overcome this problem.Furthermore the proposed method has using a fast and low-cost fabrication method by the high quality of surface mirror. Keywords: Adaptive optics, electrostatic actuator, micromirror,SU-8. وؼطاف ایىکزيآی ساخت میاتیک الکتزيست با تحزیکمزیز پلی پذیاسیذیص اػفاش ه1 ، اػذی سضا2 ، پيام حيذسی3 ػليشضا ؿوؼی4 1 2 لک اؿتشؼتی ها صـگایضاى، داشاى، ل ت3 4 ـگاي، دادشاى، س تيداحذ س هی آصاد اػ