FISIKA LABORATORIUM – LAB OPTOELEKTRONIKA – 2015-1-4 1 Abstrak—Telah dilakukan percobaan Pembentukan Lapisan Tipis Menggunakan Metode Spin Coating dan Larutan MMA. Tujuan dari percobaan ini adalah untuk menbuat dan memahami lapisan tipis pada larutan MMA. Pada percobaan ini untuk alat dan bahan yang digunakan adalah beberapa kaca preparat (substrat), kertas amplas, mikroskop, air, alcohol,spin coater,pipet tetes, hairdryer, software super eyes, larutan MMA. Pada percobaan ini yang pertama kali dilakukan adalah mempersiapkan alat dan bahan. Setelah semua sudah siap, substrat yang berupa kaca preparat di gosok salah satu bagian saja dengan menggunakan amplas hingga halus dan mengkilap. Kemudian kaca tersebut di cuci dengan menggunakan air sampai bersih kemudian dicelupkan di alcohol 70% hal ini guna agar kaca tersebut lebih steril. Selanjutnya dikeringkan menggunakan hairdryer. Kemudian ditetesi oleh larutan MMA sebanyak 2 tetes (secukupnya). Lalu masukan kaca preparat (subtract) dimasukkan kedalam mesin spin coater. Tekan gas penghisap (nyalakan vakum) agar kaca dapat bertahan pada tempatnya, agar kaca tidak terbang terbang, karena ketebalan lapisan bergantung pada tingkat kelembaban. .Setelah itu nyalakan mesin spin coater untuk memutar subtract yang telah ditetesi larutan dengan kecepatan1000rpm, 1500rpm, 2000rpm dan subtract tanpa perlakuan. Untuk menganalisa karakteristik lapisan MMA yaitu dengan cara mengamati hasil tadi dengan menggunakan mikroskop optic kemudian shoot hasilnya menggunakan software super eyes, pastikan gambar yang tertangkap terlihat jelas lapisan dan substratnya, ukur ketebalan lapisan dengan mengeklik ikon pada menu atas gambar ruler kemudian drag pada bagian ujung lapisan maka akan keluar nilai ketebalan lapisan. Lakukan hal yang sama pada bagian ujung satunya dan bagian tengah. Dari percobaan yang telah dilakukan maka telah didapatkan kesimpulan bahwa semakin tinggi kecepatan pemutaran pada alat spin coater maka lapisan tipis yang dihasilkan dari larutan MMA akan memiliki ketebalan yang kecil. Lapisan tipis terbentuk karna adanya gaya sentrifugal. Dari percobaan yang telah kita lakukan substrat lapisan tipis yang dihasilkan tidak begitu terlihat bagus dikarenakan kecepatan pada couter terlalu besar sehingga larutan MMA banyak yang terpental keluar dari substrat, jadi lapisan tipisnya tidak terbentuk dengan bagus. Semakin besar kecepatan putar yang diberikan maka lapisan yang terbentuk semakin tipis. Kata Kunci—Lapisan Tipis, Larutan MMA, Spin Coating. I. PENDAHULUAN erkembangan teknologi material merupakan salah satu bagian yang mendapat perhatian besar saat ini. Banyak penelitian dilakukan untuk menghasilkan material dengan karakteristik yang baruyang dapat disesuaikan dengan kebutuhan. Salah satu cara yang digunakan untuk menghasilkan material yang diinginkan adalah dengan teknik pelapisan material. Spin coating dapat diartikan sebagai pembentukan lapisan melalui proses pemutaran(spin). Bahan yang akan dibentuk lapisan dibuat dalam bentuk larutan(gel) kemudian diteteskan diatas subtract yang disimpan diatas piringan yang dapat berputar. Karena adanya gaya sentrifugal ketika piringan berputar maka bahan tersebut dapat tertarik ke pinggir substrat dan tersebar merata. Selain untuk penumbuhan bahan semikonduktor, teknik spin coating juga dapat digunakan untuk mendeposisi lapisan tipis bahan lainnya seperti bahan polimer maupun bahan keramik oksida. Proses spin coating dilakukan dengan memutar alat coater dengan kecepatan tinggi (rpm) dalam waktu tertentu. Semakin cepat putaran, akan diperoleh lapisan tipis yang semakin homogen dan tipis. Dengan spin coating dimungkinkan dapat diperoleh kualitas lapisan tipis yang semakin sempurna. Metode spin coating ini memuat tahapan dasar. Metode spin memuat tahapan dasar. Yang pertama tahapan pentetesan cairan(dispance). Pada bagian ini cairan dideposisikam diatas permukaan substrat, kemudian di putar dengan kecepatan tinggi. Kemudian lapisan yang sudah dibuat dikeringkan sampai pelarut benar benar sudah menguap [1] . Pandu gelombang adalah sebuah medium yang digunakan untuk memandu gelombang, seperti gelombang elektromagnetik atau gelombang suara. Pandu gelombang yang digunakan berbeda-beda disesuaikan dengan jenis gelombang yang akan dipandu. Pandu gelombang yang asli dan yang paling umum digunakan adalah pipa berongga yang terbuat dari logam yang konduktif yang digunakan untuk membawa gelombang radio berfrekuensi tinggi khususnya gelombang mikro (microwaves). Pandu gelombang memiliki bentuk geometri yang berbeda-beda yang dapat menahan energy dalam satu dimensi seperti pandu gelombang yang berbentuk lempeng (slab waveguide) atau dalam dua dimensi seperti dalam fiber atau channel waveguide. Selain itu, pandu gelombang yang berbeda digunakan untuk memandu gelombang dengan frekuensi yang berbeda-beda. contohnya fiber optic digunakan untuk memandu cahaya (frekuensi tinggi) dan tidak memandu gelombang micro yang memiliki frekuensi yang lebih rendah dibandingkan dengan cahaya tampak. Sebuah aturan yang harus diingat adalah lebar dari pandu gelombang harus memiliki orde yang sama dengan besar dari panjang gelombang yang akan dipandu. Gelombang-gelombang dalam ruang terbuka dipropagasikan ke semua arah, seperti gelombang speris (bola). Dengan cara ini, mereka akan kehilangan energinya sebanding dengan Pembentukan Lapisan Tipis Menggunakan Metode Spin Coating dan Larutan MMA Puji Kumala Pertiwi, Ichsanul Huda, Achmad Maulana, dan Drs. Gontjang Prajitno M.Si Jurusan Fisika, Fakultas MIPA, Institut Teknologi Sepuluh Nopember (ITS) Jl. Arief Rahman Hakim, Surabaya 60111 Indonesia e-mail: puji13@mhs.physics.its.ac.id P