DEVELOPPEMENT D’ UNE METHODE DE TYPE MARCATILI MODIFIEE POUR LES SIMULATIONS DE STRUCTURES GUIDANTES SUR PIEDESTAL Thomas Begou 1,2 , Bruno Bêche 2 , Nicolas Grossard 3 , Joseph Zyss 4 , Antoine Goullet 1 , Guy Jézéquel 2 , Etienne Gaviot 5 1 Institut des Matériaux Jean Rouxel, IMN-PCM UMR CNRS 6502 Université de Nantes, 44322 Nantes ; 2 Institut de Physique de Rennes, IPR UMR CNRS 6251 Université de Rennes1, 35042 Rennes ; 3 Photline Technologies S.A., Z.I. Les Tilleroyes-Trépillot, 16 rue Auguste Jouchoux, 25000 Besançon ; 4 Laboratoire de Photonique Quantique et Moléculaire, LPQM UMR CNRS 8537 ENS-Cachan, 94235 Cachan ; 5 Laboratoire d’Acoustique de l’Université du Maine, LAUM UMR CNRS 6613 Micro-Cap-Ouest, 72000 Le Mans. thomas.begou@cnrs-imn.fr RESUME Nous présentons le développement d’une nouvelle méthode de simulation analytique pour les structures guidantes sur piédestal ; cette méthode est basée sur un couplage entre la méthode des zones d’ombres de Marcatili et un raisonnement effectif appliqué précédemment à la zone piédestal. Cette méthode dite de ‘Marcatili modifiée’ présente une forte convergence avec d’autres méthodes numériques semi-vectorielles aux différences finies (DF) et spectrale de type Galerkin. Les simulations de structures de type piédestal par les trois méthodes fixent des écarts relatifs entre elles, inférieurs à 4%. MOTS-CLEFS : guides d’ondes optiques, structures de type piédestal, méthode de Marcatili, méthode semi-vectorielle aux différences finies, méthode spectrale de type Galerkin. 1. INTRODUCTION Les besoins de débits toujours plus élevés pour les télécommunications optiques favorisent l’essor de nouvelles technologies à base d’optique intégrée. Les structures optiques ainsi développées peuvent avoir des formes variées suivant les applications considérées, allant de structures simples, tels les guides plans et les guides rubans, à des structures plus complexes comme les interféromètres de Mach-Zehnder et les micro-résonateurs. Il peut être intéressant de surélever le guide du substrat pour améliorer les performances d’un dispositif, notamment dans l’optimisation d’un couplage guide ruban/micro-résonateur [1]. Les avancées technologiques de ces dernières années dans le domaine du dépôt de couches minces et de la gravure ont permis la mise en forme de structures sur piédestal présentant des dimensions nanométriques [2]. De plus, la réalisation de guides de type piédestal, apparaît envisageable pour surélever le guide du substrat pour d’autres applications MOEMS (guides-poutres en vibration, etc). Nous avons développé une méthode analytique de type Marcatili couplée à un raisonnement effectif [3] dans le but d’étudier l’effet de l’ajout d’un piédestal sous un guide ruban. La méthode de Marcatili [4], conçue originellement pour étudier les guides rubans, a été modifiée [3] pour tenir compte de l’effet non négligeable du piédestal. Cet outil de simulation a été confronté à d’autres méthodes de simulation basées sur une approche numérique : une méthode spectrale de Galerkin [5] et une méthode semi-vectorielle aux différences finies (DF) [6]. Composants passifs et Optique intégrée A4.1 226 JNOG, Lannion 2008