Modelling and simulation of an electrostatically actuated surface-micromachined tuneable Fabry-Perot interferometer for the medium IR spectral range C. Calaza 1 , S. Marco 1 , M. Moreno 1 , L. Fonseca 2 , C. Cané 2 and I. Gràcia 2 . 1 Instrumentation and Communication Laboratory (SIC). Departament d’Electrònica. Universitat de Barcelona. Marti i Franqués 1, E-08028 Barcelona, Spain. Contact e-mail: ccalaza@el.ub.es 2 Centro Nacional de Microelectrónica. (IMB-CSIC). Campus UAB. E-08193 Bellaterra. Barcelona. Spain Departament d’Electrònica