1 Supporting Information Ultrathin epitaxial silicon solar cells with inverted nanopyramid arrays for efficient light trapping Alexandre Gaucher 1 , Andrea Cattoni 1 , Christophe Dupuis 1 , Wanghua Chen 2 , Romain Cariou 2 , Martin Foldyna 2 , Loïc Lalouat 3 , Emmanuel Drouard 3 , Christian Seassal 3 , Pere Roca i Cabarrocas 2 , Stéphane Collin* 1 1 Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, University Paris Sud, University Paris- Saclay, C2N – Marcoussis, 91460 Marcoussis, France 2 LPICM, CNRS, Ecole Polytechnique, Université Paris-Saclay, 91128 Palaiseau, France 3 Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Université de Lyon, UMR5270, CNRS-INSA-ECL- UCBL, Ecole Centrale de Lyon, Ecully 69134, France *stephane.collin@lpn.cnrs.fr