AVANCES EN L RECUBRIMIEN DU CON LAS MULTICAPAS Zr/ZrN Adam Georg Balogh S. Gottschalk Institut for Materials Science TU- Darmstadt • Germany Pedro A. Prieto Pulido José Manuel Caicedo R. Centro de Excelencia en Nuevos Materiales CENM Universidad del Valle Cali • Colombia Gilberto Bejarano Gaitan Julio Cesar Caicedo A. Grupo de Investigacion y Desarra110 de Matenales • GIDEM SENA Valle • CDT ASTIN TECNICA DE IA PIVERIZAC INFORMES TECNICOS Resumen Con el fin de mejorar las pro- piedades mecanicas y tribolOgi- cas de los recubrimientos de nitruro de circonio (ZrN) y lograr una mayor eficiencia de estos en posibles aplicaciones industria- les, se depositaron multicapas de circonio-nitruro de circonio (Zr/ZrN) y se investigaron sus caracteristicas microestructura- les, morfolOgicas, mecanicas y tribologicas en funciOn del nOmero de bicapas y del periodo de las mismas, manteniendo un espesor constante de 4 micras. Las tecnicas de caracterizaci6n utilizadas fueron: La Microscopia ElectrOnica de Barrido (SEM), Espectroscopia de energia dispersiva de rayos X (EDX), Espectroscopia de DifracciOn de Rayos X (XRD) y medidas de rayado y micro indentaciOn. Los recubrimientos, con un numero de bicapas entre 1 y 12, fueron depositados sobre substratos de Silicio (Si) con orientaciOn (100) y acero rapid° AISI M2 . Una comparacion entre las propiedades de la monocapa de ZrN y las multicapas de ZrN/Zr revelaron una mayor dureza y adherencia en los recubrimientos de 12 bicapas. Palabras Cleves: Multicapas de Zr/ZrN, Recubrimientos Duros, PulverizaciOn catOdica. Abstract In order to improve the mecha- nical and tribological properties of circonium-nitride (ZrN) hard coatings, and to obtain a higher performance of them for possible industrial applications, circonium circonium nitride multilayer (Zr - ZrN) were deposited, and their microstructural, morphologic, mechanical, and tribological characteristics were investigated as function of bilayers number and period, by constant total thickness of 4 m The used characterization methodes were the Scanning Electron Microscopy (SEM), Se- condary Ion Mass Spectroscopy (SIMS), Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX), X-Ray Informador Tecnico 70/2006 I 21