33 Persp. Online: exatas & eng., Campos dos Goytacazes, 21 (08) 33 - 44 - 2018 seer.perspectivasonline.com.br Revista Perspectivas Online: Exatas & Engenharias Agosto de 2018, Vol.08, nº21, p. 33-44 ISSN: 2236-885X (Online) DOI: 10.25242/885x82120181322 CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE NITRETO DE TITÂNIO DEPOSITADOS POR DESCARGA A PLASMA EM GAIOLA CATÓDICA Sandro Santos da Silva 1 , Leonardo Cabral Gontijo 1 , Sukarno Olavo Ferreira 2 & Cintia de Laet Ravani Bottoni 1 RESUMO SILVA, S.S; GONTIJO, L.C.; FERREIRA, S.O.; BOTTONI, C.L.R.. Caracterização de filmes finos de Nitreto de Titânio depositados por descarga a plasma em gaiola catódica. Perspectivas Online: Exatas & Engenharia, v. 08 , n. 21, p. 33 - 44, 2018. Filmes de nitreto de titânio foram depositados em substratos de vidro borosilicato por descarga a plasma em gaiola catódica com furos e sem furos nas laterais. Cada filme foi depositado com uma pressão de trabalho de nitrogênio e hidrogênio de 1,9 Torr na temperatura 435°C. As propriedades estruturais, ópticas e elétricas foram investigadas para compreender o efeito da presença ou não de furos nas laterais da gaiola catódica sobre elas. Os menores valores de resistividade elétrica foram encontrados nos filmes depositados na gaiola com furos e com fluxos de gases de 72 sccm de N 2 e de 128 sccm de H 2 . Os maiores valores de transmitância foram encontrados nos filmes depositados na gaiola sem furos e fluxo de gases de 178 sccm de N 2 e 22 sccm de H 2. Palavras-chave: Filme fino; nitreto de titânio; plasma; gaiola catódica.