ISSN 2072-8387 Вестник Московского государственного областного университета. Серия: Физика-Математика 2019 / № 1 74 УДК 621.3.032.27 DOI: 10.18384-2310-7251-2019-1-74-82 ÌÅÒÎÄÛ ÑÎÂÅÐØÅÍÑÒÂÎÂÀÍÈß ÕÀÐÀÊÒÅÐÈÑÒÈÊ ÏÐÎÇÐÀ×ÍÛÕ ÝËÅÊÒÐÎÄΠÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÎÊÑÈÄÀ ÖÈÍÊÀ Абдуев А. Х. 1 , Асваров А. Ш. 1 , Ахмедов А. К. 1 , Беляев В. В. 2,3 , Скворцов А. Ю. 2 , Пленцова Д. С. 2 1 Институт физики имени Х. И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН 367015, г. Махачкала, ул. Магомеда Ярагского, д. 94, Ресупублика Дагестан, Российская Федерация 2 Московский государственный областной университет 141014, Московская область, г. Мытищи, ул. Веры Волошиной, д. 24, Российская Федерация 3 Российский университет дружбы народов 117198, Москва, ул. Миклухо-Маклая, д. 8, Российская Федерация Аннотация. Изучено влияние состава потока реагентов на условия формирования и струк- туру слоёв на основе ZnO. Показано, что ключевым резервом в увеличении электропро- водности и подвижности носителей заряда прозрачных электродов на основе ZnO:Ga является повышение структурного совершенства слоёв. Анализ полученных результатов исследований показывает, что увеличение парциального давления паров металла в га- зовой фазе влечёт за собой соответствующее увеличение подвижности компонентов и увеличение кристаллического совершенства синтезируемых поликристаллических слоёв. Ключевые слова: физика твёрдого тела, прозрачный электрод, сопротивление, темпера- тура, синтез. IMPROVING CHARACTERISTICS OF ZINC OXIDE TRANSPARENT ELECTRODES A. Abduev 1 , A. Asvarov 1 , A. Ahmedov 1 , V. Belyaev 2, 3 , A. Skvortsov 2 , D. Plentsova 2 1 Institute of Physics of the Dagestan Science Center of the Russian Academy of Sciences ul. Magomeda Yaragskogo 94, 367015 Makhachkala, Republic of Dagestan, Russian Federation 2 Moscow Region State University ul. Very Voloshinoi 24, 141014 Mytishchi, Moscow Region, Russian Federation 3 RUDN University ul. Miklukho-Maklaya 6, 117198 Moscow, Russian Federation © CC BY Абдуев А. Х., Асваров А. Ш., Ахмедов А. К., Беляев В. В., Скворцов А. Ю., Пленцова Д. С., 2019.